Das IMMS präsentierte "A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages" auf dem World Interfermometrie Tag am 9. April und einen Präzisionsantriebsdemonstrator auf der Interferometry Night.
Der Ansatz wurde von Steffen Hesse, Michael Katzschmann, Alex Huaman, Parastoo Salimitari und Ludwig Herzog entwickelt und verbessert die Charakterisierung von Luftlagern, die gängige Führungselemente in Präzisionsstufen sind. Diese Geräte sind sehr vorteilhaft für hochpräzise Positionierung in Hightech-Anwendungen, da sie keine Reibung, Stick-Slip, Abrieb oder Partikelemission verursachen. Darüber hinaus haben Luftlager gleichbleibende Eigenschaften über einen langen Zeitraum.
Dynamische Eigenschaften wie Geräusch, Steifigkeit und Dämpfung von Luftlagern sind jedoch von großer Bedeutung für die Realisierung Hashtag#nanometer präzisen Hashtag#positioning, wurden aber bisher nicht charakterisiert.
Die neue Lösung nutzt ein zusätzliches z-Interferometer und zusätzliche Antriebskräfte, um Hashtag#measurements für drei verschiedene Arten von Luftlagern in einem Nanopositioning -Demonstrator unter realen Bedingungen durchzuführen.
Die vorgestellten Messergebnisse zeigen die Möglichkeiten zur neuartigen in-situ dynamischen Charakterisierung des Luftlagerverhaltens über einen weiten Frequenzbereich und qualifizieren dieses Messverfahren somit für weitere Verbesserungen von luftgeführten Nanopräzisionssystemen.
Lesen Sie mehr über magnetische 6D-Direktantrieben mit Nanometergenauigkeit unter www.imms.de/nmdrives